激光干涉儀產品具有測量精度高、測量速度快、最高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。通過與不同的光學組件結合，可以實現對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關軟件的配合下，還可以對數控機床進行動態(tài)性能檢測，可以進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅動系統的響應特性分析，導軌的動態(tài)特性分析等，具有較高的精度和效率，為機床誤差修正提供依據。

　　激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測量光束）則通過分光鏡射入第二個反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會有一個探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉。若光程差沒有變化時，探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。

　　若光程差有變化時，探測器會在每一次光程變化時，在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。

　　激光干涉儀是檢定數控機床、坐標測量機位置精度的理想工具，可按照規(guī)定標準處理測量數據并輸出誤差曲線，為數控機床的誤差修正提供可靠依據，現場使用尤為方便。